366.112 Selected topics on MEMS/NEMS technology, characterization and lab safety
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2024S, VO, 1.5h, 2.0EC, wird geblockt abgehalten
TUWEL

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 1.5
  • ECTS: 2.0
  • Typ: VO Vorlesung
  • Format der Abhaltung: Blended Learning

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

  • sich grundsätzlich in Laboren richtig und sicher zu verhalten
  • sich im Reinraum richtig zu verhalten und die wesentlichen Aspekte von Arbeiten im Reinraum zu erläutern
  • grundlegende Konzepte der Mikrofabrikation zu verstehen
  • mit Proben richtig umzugehen, sie korrekt aufzubewahren und zu entsorgen
  • Gefahren, die von Arbeiten mit Chemikalien ausgehen zu erkennen und entsprechend sicher mit Chemikalien arbeiten zu können
  • Gefahren, die von Lasern ausgehen zu erkennen und zu vermeiden
  • Gefahren, die bei der Arbeit mit elektrischer Messtechnik ausgehen zu erkennen und zu vermeiden

Inhalt der Lehrveranstaltung

  • Grundlegendes Verhalten im Labor / Laborsicherheit
  • Verhalten im Reinraum (Reinraumtechnik, Bekleidung, Partikelquellen, Bewegung im Reinraum usw.)
  • Grundlegende Konzepte Mikrofabrikation (Additive und subtraktive Verfahren, Technologie, Lithographie)
  • Probenhandling (Waferhandling, Aufbewahrung, Vereinzelung, Gefahren, Entsorgung usw.)
  • Chemikalien (Einteilung, Gefahren, sicheres Arbeiten, PSA, Entsorgung usw.)
  • Arbeiten mit Lasern (Funktionsweise, Klassen, Gefahren usw.)
  • Elektrische Messtechnik (Gefahren, Grundlagen, Messverfahren usw.)

Methoden

Frontalvortrag / Videoaufzeichnungen des Frontalvortrags

Prüfungsmodus

Schriftlich und Mündlich

Vortragende Personen

Institut

Leistungsnachweis

Leistungsüberprüfung erfolgt durch einen schriftlichen Test (entweder handschriftlich oder im TUWEL) sowie durch eine mündliche Abschlussbesprechung.

Dazu bitte selbstständig in den TUWEL Kurs einschreiben, die TUWEL Prüfung kann jederzeit gemacht werden. Für die mündliche Prüfung bitte eine Email an michael.schneider@tuwien.ac.at schicken.

LVA-Anmeldung

Nicht erforderlich

Curricula

StudienkennzahlVerbindlichkeitSemesterAnm.Bed.Info
710 FW Freie Wahlfächer - Elektrotechnik Freifach

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vertiefende Lehrveranstaltungen

Sprache

Englisch