Die Lehrveranstaltung hat die Vorstellung industrierelevanter, aktueller Themen aus dem Bereich der Mikro- und Nanosystemtechnik, aber auch angrenzender Fachgebiete, wie z.B. der Leistungselektronik, zum Ziel. Der hohe Praxisbezug wird durch Vorträge von Industrievertretern aus dem jeweiligen Bereich verstärkt. Die vorgestellten, anwendungsspezifischen MEMS/NEMS Bauelemente werden anschließend in Bezug auf verwendete Herstellungstechnologien, Bauelementverhalten und daraus abgeleiteten Systemen diskutiert. Technische Herausforderungen bei der Integration in technisch relevanten Systemen (Automobil, Flugzeug, Konsumgüter) werden ebenfalls behandelt.
