Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

• Teilaufgaben einer gegebenen wissenschaftlichen Aufgabenstellung aus dem Bereich mikro- und nanostrukturierter Bauelemente zu identifizieren und zu bearbeiten.
• Wissenschaftliche Literatur selbstständig zu bearbeiten und deren Inhalte zu diskutieren.
• Unter Anleitung wissenschaftliche Methoden auf eine gegebene Fragestellung anzuwenden.
• Eigene Forschungsergebnisse kritisch zu diskutieren und neue Fragestellungen zu erkennen.
• Ergebnisse der eigenen wissenschaftlichen Arbeit zusammenzufassen und vor Publikum zu diskutieren.

In dieser Laborübung soll aufbauend auf der Lehrveranstaltung Sensorik und Sensorsysteme und der Fachvertiefung Mikrosensortechnologie tiefergehende Praxiserfahrung anhand aktueller Forschungsschwerpunkte vermittelt werden. Dabei kann der Schwerpunkt auf Technologien von mikro- und nanostrukturierten Bauelementen aus dem Bereich MEMS, NEMS oder der Leistungselektronik im Reinraum gelegt werden, sowie in deren Analytik bzw. Messtechnik. Es ist aber auch ein Schwerpunkt im Bereich der Simulation und Modellierung möglich. Die erzielten Ergebnisse werden fortlaufend diskutiert und zum Abschluss der Lehrveranstaltung von den Teilnehmern im Rahmen eines Vortrages zusammengefasst.

Selbständiges, wissenschaftliches Arbeiten in Messtechnik- und Reinraumlaboren unter Anleitung, selbstständiges Anwendung erlernter, theoretischer Grundlagen  auf vorgegebene, wissenschaftliche Fragestellungen unter Anleitung, Studium von wissenschaftlicher Literatur.

Vortrag mit anschließender Diskussion der Ergebnisse.