362.178 Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik
Diese Lehrveranstaltung ist in allen zugeordneten Curricula Teil der STEOP.
Diese Lehrveranstaltung ist in mindestens einem zugeordneten Curriculum Teil der STEOP.

2023S, VU, 2.0h, 3.0EC, wird geblockt abgehalten

Merkmale

  • Semesterwochenstunden: 2.0
  • ECTS: 3.0
  • Typ: VU Vorlesung mit Übung
  • Format der Abhaltung: Präsenz

Lernergebnisse

Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

... den Ablauf chemischer Prozesse als Wechselwirkung von Valenzelektronen zu verstehen.
... chemischen Grundkenntnissen auf Prozesse der Halbleiterfertigung anzuwenden.
... für chemische Prozesse die nötigen Stoffmengenströme zu berechnen
... Puffelöslungen mit einem gewünschten pH-Wert einzustellen
... Redox-Reaktionen und Austauschreaktionen als Grundlage des Ätzens zu verstehen.
... die Löslichkeit von Stoffen als Konsequenz Ihrer protischen/aprotischen und polaren/apolaren Eigenschaften abzuschätzen.
... die Gefährlichkeit von Chemikalien in Reinräumen richtig einzuschätzen.

Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.

Inhalt der Lehrveranstaltung

Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen.  Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase

Methoden

Geblockter "Immersions" -Kurs in Chemie -

Fallbeispiele werden in kleinen Gruppen und zusammen mit dem Dozenten gelöst.
Es wird ein paraktischer Praktikum zum Thema Sicherheit bei chemischen Prozessen angeboten (2021: falls möglich).

 

Prüfungsmodus

Mündlich

Vortragende Personen

Institut

LVA Termine

TagZeitDatumOrtBeschreibung
14:00 - 18:0001.03.2023 - 31.03.2023Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik - Einzeltermine
TagDatumZeitOrtBeschreibung
Mi.01.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Do.02.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Fr.03.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mo.06.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Di.07.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mi.08.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Do.09.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Fr.10.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mo.13.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Di.14.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mi.15.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Do.16.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Fr.17.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mo.20.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Di.21.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mi.22.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Do.23.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Fr.24.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Mo.27.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
Di.28.03.202314:00 - 18:00Besprechungsraum 362 - 2 Prozesschemie - Vorlesung
LVA wird geblockt abgehalten

Leistungsnachweis

Mündliche Prüfung mit Rechenbeispielen zu chemischen Prozessen (Stöchiometrie, pH-Wert berechnen, elektrochemisches Potential berchnen)

LVA-Anmeldung

Von Bis Abmeldung bis
30.01.2023 10:00 12.03.2023 23:00 29.03.2023 23:00

Anmeldemodalitäten

Zur Planung der LVA bitte bei Interesse im TISS anmelden!

Die LVA startet unmittelbar zu Semeesterbeginn und wird geblockt abgehalten.

Curricula

StudienkennzahlSemesterAnm.Bed.Info
066 508 Mikroelektronik und Photonik

Literatur

Es wird kein Skriptum zur Lehrveranstaltung angeboten.

Vorkenntnisse

Der Kurs baut auf dem Schulwissen in Chemie auf.

Begleitende Lehrveranstaltungen

Sprache

bei Bedarf in Englisch