Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
... den Ablauf chemischer Prozesse als Wechselwirkung von Valenzelektronen zu verstehen.
... chemischen Grundkenntnissen auf Prozesse der Halbleiterfertigung anzuwenden.
... für chemische Prozesse die nötigen Stoffmengenströme zu berechnen
... Puffelöslungen mit einem gewünschten pH-Wert einzustellen
... Redox-Reaktionen und Austauschreaktionen als Grundlage des Ätzens zu verstehen.
... die Löslichkeit von Stoffen als Konsequenz Ihrer protischen/aprotischen und polaren/apolaren Eigenschaften abzuschätzen.
... die Gefährlichkeit von Chemikalien in Reinräumen richtig einzuschätzen.
Es werden grundlegende Kenntnisse der Chemie (Verbindungsklassen, Stöchiometrische Zusammensetzung, Säuren/Basen, RedOx-Reaktionen, Thermodynamik, Reaktionskinetik, Funktionalität organischer Gruppen, Nomenklatur organischer Verbindungen) vermittelt und anhand von Beispielen aus der Mikrostrukturierung (Ätzen, Lithographie, Reinigung mit Lösungsmitteln, Dauer von Reaktionen, Mischungsverhältnisse von 2 Reaktionspartnern) in Übungsbeispielen angewandt.
Chemische Konzepte (pH, Elektrochemie, Reaktionsmechanismen,...u.v.m.),Thermodynamik, Kinetik, Herstellprozesse (Lithografie, RIE, CVD,...), welche auf chemischen Prozessen beruhen. Sicherer Umgang mit Chemikalien (Säuren, Lösungsmittel, Gase
Geblockter "Immersions" -Kurs in Chemie -
(2021: Zoom-) Vorlesung mit intensiver Beteiligung der Studierenden.
Fallbeispiele werden in kleinen Gruppen und zusammen mit dem Dozenten gelöst.
Es wird ein paraktischer Praktikum zum Thema Sicherheit bei chemischen Prozessen angeboten (2021: falls möglich).
Mündliche Prüfung mit Rechenbeispielen zu chemischen Prozessen (Stöchiometrie, pH-Wert berechnen, elektrochemisches Potential berchnen)
Zur Planung der LVA bitte bei Interesse im TISS anmelden!
Die LVA startet unmittelbar zu Semeesterbeginn und wird geblockt abgehalten.
