Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...

alle wesentlichen Herstellprozesse der Mikro- & Nanostrukturierung zu benennen, und die Prinzipien zu erklären. Die Studierenden lernen, verschiedene Herstellprozesse gegenüberzudtellen und die Vor- und Nachteile kritisch gegeneinander abzuwägen. Diese LVA verleiht Studierenden das Verständnis durch Kombination der erlernten Herstellprozesse selbständig Prozessabfolgen für die komplette Fertigung von Bauelemente der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik zu entwickeln.

Umfassende Kenntnisse der Prozesse und Technologien, die die Basis für die moderne Nanoelektronik, Nanophotonik und Mikrosystemtechnik bilden. Element- und Verbindungshalbleiter der Gruppen IV und III-V, sowie Oxidkeramiken sind die Schwerpunkte auf der Materialseite.

Prozesstechnologien für die Herstellung von mikro- und nanoskaligen, 1-, 2- und 3-dimensionalen Strukturen, Komponenten und Bauelementen. Schwerpunkte hier sind die Schlüsselprozesse inklusive Schichtstrukturierung mit Photo- und Elektronenstrahl-Lithographie sowie Ätztechniken mit HF-Plasmaprozessen, selektive Wachstumsprozesse für (quasi-) 1-, 2- dimensionalen Strukturen wie Nanodots und Nanowires, und in-situ und ex-situ 
Charakterisierungsverfahren.

Vortrag unterstützt mit ppt-Folien sowie Tafelzeichnungen
Erzählungen aus der Praxis der industriellen Fertigung
Fallbeispiele zur Anwendung
Gemeinsame Erarbeitung von Prozessabfolgen (Prozessintegration) zur Herstellung eines mikroelektronischen bzw mikromechanischen Bauelements

2021 wird die Vorlesung als  ONLINE-Vorlesung in ZOOM abgehalten

07. Dez 2021 – Uli Schmid & Heinz Wanzenboeck (Prozessintegration) 

Thema:  LV Prozesstechnologien / MEMS Technologieplattformen
Uhrzeit: 7.Dez..2021 01:00 PM Amsterdam, Berlin, Rom, Stockholm, Wien  

Zoom-Meeting beitreten
https://tuwien.zoom.us/j/99890554384?pwd=cHRwaXdpY3g5cThpMG1CUW5LUlNEZz09 
Meeting-ID: 998 9055 4384
Passwort: Sqz7bgDc

7. Dec 2021 - Part Wanzenboeck
https://tuwien.zoom.us/j/96575198092?pwd=aEMwZ3hkeFNPc1hyTUx6NC9JVmtsQT09
Meeting-ID: 965 7519 8092
Passwort: meet4micro

14. Dez 2021 – Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)
21. Dez 2021 – Weihnachtsferien (18. Dez 2021- 07. Jan 2022)
11. Jan 2022 – Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)
18. Jan 2022 –  Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)
25. Jan 2022 –  Borislav Hinkov (Gottfried Strasser)

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Presence lectures in Pre-CoViD days were: 13:00 - 15:00
Besprechungraum ISAS (CB0102)
Gebäudeteil Favoritenstrasse - 2. Stock

Mündliche Prüfung

Die Prüfung über den vollen Vorlesungsinhalt kann bei jedem der Vortragenden abgelegt werden - Anmeldung beim gewählten Prüfer.

Prüfer Wanzenböck:
Anmeldung für vorgegebene Termine via TISS
Zusatztermine jederzeit auf Anfrage möglich -

Prüfer Ulrich Schmid:
Termine nach individueller Vereinbarung

Prüfer Gottfried Strasser:
Termine nach individueller Vereinbarung