Vertieftes Verständnis und praktische Erfahrung im Bereich der Halbleitertechnologie.

In einem einführenden Vorlesungsteil werden die Grundlagen des MOSFET, die Herstellungsschritte, die Bedienung der Fertigungsanlagen und die Rolle der Simulation umrissen. Im Hauptteil werden in Kleingruppen MOSFETs mit den Anlagen des FKE im Reinraum hergestellt. Anschließend werden an einem Halbleiter-Teststand die elektrischen Kenngrößen des fertigen Transistors bestimmt. Prozess- und Device-Simulationen werden mit Industrie-Standard TCAD-Tools durchgeführt.

Der Inhalt der Lehrveranstaltung des Wintersemesters ("Nanotechnologie") wird jetzt in den Lehrveranstaltungen "Materialien, Prozesse und Technologien der Mikrolektronik", "Materialien, Prozesse und Technologien der Photonik" und "Halbleiter-Prozess-Modellierung" angeboten. Der Inhalt der Lehrveranstaltung des Sommersemesters ("MOSFET") wird nicht mehr angeboten.