Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
die grundlegenden Methoden der Halbleiterfertigung und / oder Analysetechniken für Halbleiterbauelemnte zu verstehen.
durch eigene experimentelle Tätigkeiten den das Prinzip der Techniken zu erfassen.
selbständig Mikroelektronik-Experimente nach vorheriger Einschulung durchzuführen
Physikern und Chemikern bietet dieser Laborkurs die Möglichkeit erste praktische Erfahrungen in der Reinraum-Technik der Mikrofabrikation zu gewinnen.
Laborpraktikum über Strukturierungs- und Charakterisierungstechniken in der Halbleiterfertigung
Arbeitsprogramm der Gruppen WEBER:
Elektrische Charakterisierung von nanostrukturen. Details auf Anfrage
Arbeitsprogramm der Gruppen LUGSTEIN: Auf Anfrage
Arbeitsprogramm der Gruppen WANZENBOECK
Prozessierungstechniken aus forschungsrelevanten Bereichen (optional):x) Optische Lithographie und PVD-Metallabscheidung für Zellkultur-Mikrochips *x) Direktschreiben von Metallstrukturen (Lokale CVD mit fokussiertem Elektronenstrahl) *x) Topografische (AFM) und chemische (EDX) Charakterisierung von Nanostrukturen *x) Elektrische Charakterisierung von Mikrostrukturen (zB aus Elekronenstrahlinduzierter Abscheidung.)x) weitere Themen auf Anfrage möglich
Grundlegende praktische Kenntnisse in der Halbleitertechnologie
Dauer: 3-Tages-Praktikum (andere Zeiteinteilung auf Anfrage möglich)Beginn: nach individueller Terminvereinbarung (auch während der Ferien möglich)Gruppe: max. 3 StudentenNote: auf Basis eines Laborberichtes
...Lehrende, die an diesem Termin nicht teilnehmen können, finden unter dem Link https://owncloud.tuwien.ac.at/index.php/s/9Dki75euZK8prTM einen Leitfaden mit Schritt-für-Schritt Anleitung sowie zwei Präsentationen die einerseits die strategischen Überlegungen und andererseits die zugrundeliegenden hochschuldidaktischen Grundlagen darstellen. Weiters wurden auch in TISS Hilfetexte und Formulierungshilfen für Sie implementiert. ….
Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt. Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten. Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.
Anmeldeemail mit Name, MatrNr und LVA-Nummer (362.084) an
an alois.lugstein@tuwien.ac.at
oder heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at
oder walter.weber@tuwien.ac.at
Laborprotokoll
Institut für Festkörperelektronik, Floragasse 7 - 1 Stock, Seminarraum 1 Ort: Vorbesprechung
Vorlesung Prozesstechnologie 362.144 empfohlen.
