Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage...
.... eigenständig Prozessschirtte der Mikrofabrikation zu Herstellung einfacher Bauelemente zu kombinieren... die grundlegenden Prozesse der Herstellung von integrierten Schaltungen bzw. MEMS Bauteilen anzuwenden.... die geeigneten Analysemethoden (zB Atomkraftmikroskopie oder Rasterelektronenmikroskopie) zur Problemlösung auszuwählen
Die dabei erworbenen Kenntnisse können idalerweise in einer längeren Projektarbeitet 362.092 vertieft werden.
Laborübung mit starkem Bezug zu aktuellen Forschungsprojekten.
Die LVA wird in 3er-Gruppen durchgeführt. Es werden mehrere Kurse nach Vereinbarung im Semester angeboten.
Anmeldung (am Besten in Gruppen von 2-3 Studierenden) per email erforderlich.
an alois.lugstein@tuwien.ac.at
oder heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at
NEU im SS 2018: TISS-Registrierung für Kurse von Prof. Wanzenböck!Kursinhalt: Optische Lithographie, Sputtern, TrockenätzenVorkenntnisse in Prozesstechnologie sind eine Voraussetzung.Bitte registrieren Sie sich via TISSAchtung: Kursdaten können sich bei unerwarteten Ereignissen ändern.Fragen: Bitte an unsere Teamassistenz Alexandra.Linster@tuwien.ac.at
Laborprotokoll
Anmeldung per email an:
alois.lugstein@tuwien.ac.at oder
heinz.wanzenboeck@tuwien.ac.at
Anmeldeemail mit Überschrift "Anmeldung 362.084 Labor Mikroelektronik"+ Name, + Matrikelnummer +Zeitrahmen f Labor
Empfohlen in Kombination mit 362.144 VO Prozesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik362.152 VU Materialien, Prozesse und Technologien der Mikroelektronik362.146 VU Prozesschemie für Mikro- und Nanoelektronik