Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage selbständig grundlegende Synthese und Charakterisierung Methoden im Bereich der Oberflächentechnik durchzuführen. Im Bereich der Synthese liegt der Fokus auf PVD (englisch physical vapor deposition) basierende Abscheidetechniken.

Überblick über die wesentlichen Prinzipien im Bereich der PVD basierenden Abscheidemethoden und den wichtigsten Charakterisierungstechniken 

• Vakuumtechnik
• Anlagentechnologien/Konzepte
• Methoden zur Mechanische Charakterisierung vom Dünnschichten
• Methoden zur Thermische Charakterisierung von Dünnschichten
• Methoden zur Chemie- und Strukturanalyse
• Oberflächensensitive Methoden

Alle vorgestellten Methoden sollen von den Studierneden unter Anleitung der Überungsleiter selbst im Labor durchgeführt und erlernt werden. 

• PVD basierende Abscheidetechniken (zB DC oder DC-puls Magnetron Sputtering)
• Nanoindentation
• Thermogravimetrische Analyse unter der Anwendung Dynamische Differenzkalorimetrie (DSC) / Differenz-Thermoanalyse (DTA)
• Röntgenbeugung & Rasterelektronenmikroskopie + EDX Analyse
• Optische Profilometrie

Der Leistungsnachweis wird in Form eines Prokolls/Präsentation über die durchgeführten Methoden erbracht. 

Oberflächentechnik

Grundlagen der Materialwissenschaft