Verstehen der Grundlagen einer breiten Palette von Elektronenstrahltechniken zur Untersuchung von Festkörpern. Diese Techniken haben große wissenschaftliche und industrielle Bedeutung in der Halbleiterphysik, der Nanotechnologie, den Materialwissenschaften und der Chemie. Die Vorlesung vermittelt Einblick in Oberflächen- und Volumsanalytik, die für das Wachstumsgebiet Nanotechnologie und Nanomachining so wichtig ist.
Die Wechselwirkung energiereicher Elektronen mit Materie wird grundlegend behandelt. Das Prinzip der wichtigsten Analytischen Techniken wird diskutiert und mit Hilfe von Anwendungen erläutert.
Skriptum zum Download im SS verfügbar.
Die Vorlesung beginnt am 10.3. 2015, 14:15 Uhr, SEM 134A
mündlich
Nicht erforderlich
