Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage experimentelle und theoretische Problemstellungen im Fach Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen zu analysieren, Lösungsvorschläge zu konzipieren und die Probleme schließlich einer Lösung zuzuführen.
Einführung in das Gebiet der Wechselwirkung von Ionen mit Festkörperoberflächen: Zerstäubung, Ionenimplantation, atomare Stoßprozessse; Computersimulation (Monte-Carlo Methoden und Molekulardynamik). Anwendungen: Herstellung dünner Schichten, Materialveredelung, Ionenimplantation, Oberflächenanalyse.
