Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage die verschiedenen Formen elektrischer Gasentladungen an Hand der auftretenen Plasma-Wand- und Volumenprozesse zu erkären. Des weiteren können sie die Funktionsweise plasmatechnischer Anlagen auf dem Gebiet der Bearbeitung, Strukturierung, Modifizierung und Beschichtung von Oberflächen erklären. Darüber hinaus haben sie auch ein Verständnis über plasmachemische Stoffwandlungen.
Einführung in die Physik elektrischer Gasentladungen, Reaktionen im Plasma, Plasma-Wand Wechselwirkungen, Erzeugung von Plasmen in Glimmentladungen, Anwendung von Glimmentladungs-Plasmen zur Strukturierung, Modifizierung und Beschichtung von Oberflächen, Plasmachemie, Erzeugung von Plasmen in Bogenentladungen, Plasmatron, Anwendung von thermischen Plasmen zum Schmelzen, Schneiden, Schweißen, Plasmaspritzen und zur Synthese.
Ein Skriptum zur Lehrveranstaltung ist als pdf-Datei erhältlich.
Bücher:
Yuri P. Raizer, "Gas Discharge Physics", 2nd Ed., Springer Verlag, 1995
Michael A. Lieberman, Allen J. Lichtenberg, "Principles of Plasma Discharges and Materials Processing", 2nd Ed., Wiley, 2005
Alexander Fridman, "Plasma Chemistry", Cambridge, 2008
John E. Harry, "Introduction to Plasma Technology", Wiley, 2010
M. Keidar and I.I. Beilis, "Plasma Engineering", Elsevier, 2013
J. Meichsner et al., "Nonthermal Plasma Chemistry and Physics", CRC Press, 2013
