Nach positiver Absolvierung der Lehrveranstaltung sind Studierende in der Lage die eingesetzten Materialien d.h. Silizium-Ausgangsmaterial, Dotierstoffe, Dielektrika und Metalle zu analysieren und die Siliziumbauelemente zu erklären und zu bewerten. Sie können die Zusammenhänge von physikalischer Funktion des Bauelements und Materialmechanismen an Grenzflächen, bei Reaktionszonen, Kristalldefekten und Materialmigrationen interpretieren und beurteilen.

Grundzüge zur Funktion von SI - Bauelementen, Silizium-Grundmaterial, Dotierung, Implantationsschäden, Kristallgitterdefekte, Oxidation, Dielektrika, Metallisierungen (poly-Si, Al, W, Ti, TiN, Cu)

Die Themen werden in einer Vorlesung basierend auf dem zugehörigen Skriptum behandelt.

Mündliche Einzelprüfung am Ende des Semesters. Ungefähre Dauer: 30 Minuten